在工業氣體中，六氟化硫氣體是一種無色、無味、無毒、具有良好絕緣性的氣體。由于絕緣強度高，具有優良的滅弧性能、冷卻特性、不燃性和熱穩定性，被廣泛應用于電力傳輸系統中。正因如此，才更要做好前期檢查工作。

　　六氟化硫氣體中濕度較大時，如果設備內發生電弧，六氟化硫氣體的電弧分解物在水分參與下會產生很多有毒物質，如SOF2,HF等，從而腐蝕斷路器內部結構材料并威脅檢修人員人身安全;另外.當濕度大時.隨著溫度的變化，在絕緣件的表面產生凝結水，造成沿面閃絡.使其絕緣強度下降，威脅設備安全運行。

　　酸度的大小在一定程度上代表或象征著六氟化硫氣體毒性的大小，特別是酸性組分和水分同時存在時，有可能發生凝聚，將會嚴重危及電氣設備的安全運行。空氣、四氟化碳、礦物油等雜質會降低絕緣和滅弧性能，電氣設備在受到大電流、高電壓、高溫等外界因素的影響下，同時有氧氣和水分存在時將產生有毒或劇毒的含氧低氟化物，這些雜質對人體危害很大，并且會腐蝕設備的金屬部件和絕緣材料。

　　在高純六氟化硫雜質中的含硫低氟化物。其中有些極易水解形成酸性或有毒物質，損害人體健康和設備運行安全。