Aera FC-D980 系列數(shù)碼 MFC（質(zhì)量流量控制器）和 MFM（質(zhì)量流量計）具有卓越的性能和通用性，從而大幅節(jié)約了成本且易于使用。多種輸出選擇允許進(jìn)行模擬或數(shù)碼控制，可用于目前大多數(shù)控制和通信配置。為適應(yīng)您優(yōu)先選擇的價值和功能，該產(chǎn)品線擁有單氣體和多氣體、多范圍的 MFC。多氣體、多范圍可以通過顯著減少備件庫存要求降低成本。RS-485 通信（帶有轉(zhuǎn)換器的 RS-232）與全面的診斷和警報功能相結(jié)合，達(dá)到了全面的監(jiān)控和控制性能，操作參數(shù)就在您的彈指之間。

　　性能:

　　出色的精確性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性

　　大幅節(jié)約了成本

　　最大限度的運(yùn)行通用性

　　無與倫比的可靠性

　　特點(diǎn):

　　多氣體、多范圍選擇

　　模擬、模擬/數(shù)碼以及數(shù)碼模式

　　壓電控制閥

　　多警報和診斷功能

　　金屬密封，泄漏率為1x10-10

　　電解拋光且超潔凈氣體濕潤表面